名称

FM-X1000

MLK X2000

MLK X2000S

MLK X2000P

载物台大小

220*180mm

480*450mm

480*450mm

480*450mm

XY行程

220*180mm

450*480mm

450*480mm

450*480mm

最大视野（FOV）

50mm

100mm

100mm

100mm

最小视野（FOV）

50μm

2.5mm

2.5mm

2.5mm

载物台最大负荷

8KG

10kg

10kg

10kg

被测物体最大面积

220*180*220mm

480*450*150mm

480*450*150mm

480*450*150mm

轴数

3轴

5 轴

6 轴

6 轴

运动速度最大

100mm/s

100mm/s

100mm/s

100mm/s

最小步进精度

＜3μm

<3um

<3um

<3um

空间分辨率

3μm

3um

2um

2um

穿透力

30mm铝板

50mm 铝板

60mm 铝板

60mm 铝板

灰度级

12级

12 级

12 级

12 级

系统最大倍率

150倍（几何倍率25倍）

300 倍（几何倍率 50 倍）

300 倍（几何倍率 50 倍）

300 倍（几何倍率 50 倍）

最大管电压KV

60KV

100KV

100KV

100KV

最大管电流uA

100uA

200uA

250uA

250uA

光管类型/焦斑

一体式油冷微焦光斑光管，FOCUS=50um

封闭式油冷微焦斑光管，FOCUS=5um

一体式油冷微焦斑光管，FOCUS=5um

封闭式油冷微焦斑光管，FOCUS=5um

图像接收器

光纤数字成像面板

200CCD+II 相机

光纤数字成像面板

光纤数字成像面板

图像接收器倾斜

0°

Max70°

Max70°

Max70°

辐射参考：GB15208.1～2005

辐射值≤1usv

辐射值≤1usv

辐射值≤1usv

辐射值≤1usv